石英挠性摆组件由中心盘、安装环、连接中心盘和安装环的两个挠性平桥以及 固定在中心盘上的两个铝质骨架的力矩器线圈组成。 在安装环上，每面有三个安装凸台，挠性平桥形成柔软的挠性支撑，使中心盘可以 绕挠性平桥的枢轴相对安装环转动。差动电容传感器由电容器的两个动极板（石英摆片 镀金区）和电容器的两个定极板（力矩器的端面）构成。力矩器是由两个铁磁组合和两 个顺向连接的力矩器动圈构成。摆组件靠挠性平桥支撑，它使得加速度计在输入轴方向 的刚度很小，呈近于自由的无约束状态，而在其它轴方向的刚度很大。因此，当沿加速 度计的输入轴有加速度作用时，由于摆质量的位置变化，使差动电容传感器的电容值发 生变化。力平衡电子放大器检测这一变化并产生一个再平衡电流加给力矩器，它产生的 电磁力矩有使摆质量回到原位置的倾向，加速度传感器，直到与惯性力矩平衡。在力平衡状态下，测量 流过采样电阻的电流，便可以得到加速度计测量的加速度。 伺服电路主要由基准三角波发生器、差动电容检测器、电流积分器、跨导补偿放大 器和电压调节器等部分组成。
加速度引起的差动电容变化量C，由伺服电路中差动电容检测器检测，微加速度传感器定制，其输出为电流，此电流经电流积分器变成输出电压，然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流，该输出电流的大小与输入加速度成正比。极性取决于输入加速度的方向。石英挠性加速度计具有结构简单、精度高的特点。在惯性导航系统、大地测量系统中有广泛的应用。这种加速度计的主要缺点是，测量加速度超过700m/ ，其非线性误差明显增大，同时不能承受太大的冲击振动。3轴加速传感器可以像感测倾斜度那样感测出“旋转度”：在存在重力的状态下测量倾斜的低速变化、检测重力矢量的变化，以及确定方向是顺时针还是逆时针。倾斜检测也可以与点击(冲击)识别结合使用，微型加速度传感器应用，以便操作员能以单手控制设备的更多功能。加速度传感器具有优异的零偏稳定性，噪声低，线性度好坚固的MEMS设计使在严酷环境下也能实现高性能低即使是在振动状态下，也能进行高精度输出优越的耐冲击性。
加速度是描述物体速度变化快慢的物理量，通过测量由于重力引起的加速度，微型加速度传感器，你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。通过分析动态加速度，你可以分析出设备移动的方式。为了测量并计算这些物理量，便产生了加速度传感器。加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；工业现场测振传感器，主要是压电式加速度传感器。加速度传感器具有***的故障检测功能，具体包括数字启动时的自我诊断，校正存储器的奇偶校验，总和校验以及一般情况的故障检测功能。该产品可用于水平或垂直检测，零点的温度相关系数在1mg/℃以下。传感器元件采用的是过阻尼 (通过加入惰性气体降低高频噪声) 结构。
