加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。现代科技要求微加速度传感器要使用体积小、重量轻、性能稳定的加速度传感器。以传统加工方法制造的加速度传感器难以满足这些要求。于是应用新兴的微机械加工技术制作的微加速度传感器应运而生。这种传感器体积小、重量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、易于实现数字化和智能化。而且,由于微机械结构制作准确、重复性好、易于集成化、适于大批量生产,它的性能价格比很高。加速度传感器又叫G-sensor,获取的是x、y、z三轴的加速度数值,市场上的加速度传感器种类很多。手机中常用的加速度传感器有BMA系列,AMK的897X系列,ST的LIS3X系列等。这些传感器一般提供±2G至±16G的加速度测量范围,采用I2C或SPI接口和MCU相连,数据精度小于16bit。
随着惯性系统低成本化的发展,微加速度传感器应用,在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术,所以称为石英挠性加速度计,微加速度传感器,且其结构与工艺大大简化。尽管加速度传感器的功能是测量 g 值加速度,它也能用于确定速度和位移。如果需要对这些数据点进行测量,则需要直流器件。有些人认为可以使用压电式加速度传感器来确定速度和位移,但有多项***这不可行。原因在于:压电晶体的固有特性以及返回真实“0”读数所需的时间。虽然可以使用压电式加速度传感器来确定峰值加速度,但如果对输出数据执行任何积分,则由 PZT 晶体引起的固有零点偏移将导致速度和位移不准确。在高 g 值下,为了研究、开发和测试目的而采集数据的过程有其独特的挑战。不管您打算在实验室(用于震动、冲击或下落测试测量)还是在现场(用于测量施工设备、测井设备、汽车碰撞测试或其他应用)使用加速度传感器,微加速度传感器定制,处理好上述问题都能确保您的结果准确、可重复和线性。
微加速度传感器包括由硅膜片、上盖、下盖,微加速度传感器选型,膜片处于上盖、下盖之间,键合在一起;一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上,并采用压焊工艺引出导线;工业现场测振传感器,主要是压电式加速度传感器。由于三轴加速度传感器也是基于重力原理的,因此用三轴加速度传感器可以实现双轴正负90度或双轴0-360度的倾角,通过校正后期精度要高于双轴加速度传感器大于测量角度为60度的情况。三轴加速度传感器具有体积小和重量轻特点,可以测量空间加速度,能够准确反映物体的运动性质,在航空航天、机器人、汽车和医学等领域得到广泛的应用。