石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计,通过检测质量来检测外界的加速度信号,再经伺服电路解调、放大,***输出电流信号正比于加速度信号。加速度引起的差动电容改变量C,由伺服电路中差动电容检测器检测,其输出为电流,此电流经电流积分器变成输出电压,然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流,该输出电流的巨细与输入加速度成正比。石英挠性加速度计按其应用分为:船用,航空航天用,车载等。
模拟电路
采用的电路使用方式,芜湖石英加速度计,其优势是结构简单、功能可靠,数据量化误差积累小,零偏电流小。随着微电子技术的发展,模拟电路也发生了质一般的飞跃,这是由于相关电子器件的精度、速度越来越高,使制约模拟电路发展的技术瓶颈逐渐被攻破,在测量精度上,有了大幅度的提升,从而在某些需要测量精度高的领域发挥巨大作用,比如航空航天。
数字电路
数字电路是将回路中控制、校正网络全部采用数字化实现,经过数字控制器的运算处理,产生控制力矩器的电流。其优势是消除了刻度银子的非线性误差,加矩功率在一定输入内保持恒定,石英加速度计原理,惯性期间的温度特性好,缺点是无法满足高精度的要求。无论选择哪种电路方式,需要根据实际情况来确定。对于测量要求不是特别高的产品来讲,数字电路是更佳选择。对精度要求高的应用领域,模拟电路才是更佳之选。
石英挠性加速度计结构
轭铁由温度系数低,导磁性能好的软磁材料组成。磁钢采用导磁性能比较良好的AL-Ni-Co8永磁材料,用无心磨床加工。石英挠性加速度计的材料为温度性能更好的石英玻璃,外形采用超声加工而成,挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法;也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性元件,但造价很高。石英挠性加速度计按其应用分为:船用,航空航天用,车载等。市面上性能比较好的就是INNALABS和Honeywell的产品。主要有:QA-3000,QA-2000,石英加速度计制造商,INN-202,INN-203,INN-204等.