在加速度传感器中有一种是三轴加速度传感器，同样的它是基于加速度的基本原理去实现工作的，加速度是个空间矢量，一方面，三轴加速度传感器价格，要准确了解物体的运动状态，必须测得其三个坐标轴上的分量；另一方面，在预先不知道物体运动方向的场合下，三轴加速度传感器厂家，只有应用三轴加速度传感器来检测加速度信号。由于三轴加速度传感器也是基于重力原理的，因此用三轴加速度传感器可以实现双轴正负90度或双轴0-360度的倾角，通过校正后期精度要高于双轴加速度传感器大于测量角度为60度的情况。三轴加速度传感器的好处就是在预先不知道物体运动方向的场合下，只有应用三维加速度传感器来检测加速度信号。三维加速度传感器具有体积小和重量轻特点，可以测量空间加速度，能够准确反映物体的运动性质。

传感器输出信号规格支持的加速度水平，通常用±g表示。 这是器件能够测量并通过输出准确表示的更大加速度。 例如，±3g加速度计的输出与高达±3g的加速度成线性关系。 若加速到4g，则输出可能无效。 注意，极限值由更大加速度规定，而不是由测量范围规定。 4g加速度不会使±3g加速度计失效。加速度计灵敏度加速度（输入）变化与输出信号变化之比。它定义加速度与输出之间的理想直线关系。灵敏度用特定电源电压来规定，对于模拟输出加速度计，单位通常是mV/g；对于数字加速度计，单位通常是LSB/g或mg/LSB。 它通常表示为一个范围，三轴加速度传感器，或表示为一个典型值加上偏差***比(%)。 对于模拟输出传感器，灵敏度与电源电压成比例关系。我们用微机械加速度计组成测斜仪，放在建筑物上，或者通过埋在水坝上的导管置入水坝体中，它就能时刻监视建筑物、水坝、斜坡等的变化，测量出所在平台的倾斜度，及时报告倾斜信息，以防止建筑物倒塌、水坝溃决、滑坡等事故造成的损失。

加速度引起的差动电容变化量C，由伺服电路中差动电容检测器检测，其输出为电流，此电流经电流积分器变成输出电压，然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流，该输出电流的大小与输入加速度成正比。极性取决于输入加速度的方向。石英挠性加速度计具有结构简单、精度高的特点。在惯性导航系统、大地测量系统中有广泛的应用。这种加速度计的主要缺点是，测量加速度超过700m/  ，其非线性误差明显增大，同时不能承受太大的冲击振动。3轴加速传感器可以像感测倾斜度那样感测出“旋转度”：在存在重力的状态下测量倾斜的低速变化、检测重力矢量的变化，以及确定方向是顺时针还是逆时针。倾斜检测也可以与点击(冲击)识别结合使用，以便操作员能以单手控制设备的更多功能。三轴加速度传感器具有优异的零偏稳定性，噪声低，线性度好坚固的MEMS设计使在严酷环境下也能实现高性能低即使是在振动状态下，也能进行高精度输出优越的耐冲击性。