一种单轴自谐振加速度计。所提出的加速度计包括与一个闭环自谐振电路一起使用的响应传感元件和模拟力反馈读出电路。在操作期间，三维加速度计，传感元件以其基本频率通过专用致动电极闭环配置振荡。该振荡用于调制另一组差分电极之间的电容差异，该差分电极仅用于加速度感测。调制的电容差信号用于使用闭环加速度计读出电路测量加速度。此外，由自谐振电路产生的方波振荡信号用于将调制的加速度读出信号下变频到基带。在本工作中，加速度计，将单个质量传感元件中的谐振器和加速度计组合在一起，无需外部信号源，如时钟或函数发生器，广泛用于电容式加速度计。除了调制和解调之外，振荡信号还可以通过谐振频率的变化在温度补偿目的中受益，谐振频率受到环境温度的影响。在-20°C和60°C之间进行的测试表明，闭环加速度计输出的漂移与共振频率的漂移之间存在很强的相关性。通过使用这种相关性，加速度计输出的温度依赖性从-15.4 mg /°C降低到-76μg/°C。所提出的加速度计的噪声性能结果表明偏差不稳定为99μg，速度随机行程为54μ/(hz)^(1/2)。
加速度计抗振性能良好，其测角精度为角秒级。主要用于石油钻井的随钻测斜系统和连续测斜系统中，并可广泛用于其它工作环境恶劣的系统中。廊坊市航新仪表有限公司成立于2006年，其前身华航精密机械厂隶属于北华航天工业学院。主要生产军事石英挠性加速度计，同时开发民用挠性加速度计产品，三轴加速度计6050，具有较强的加工能力和丰富的组装经验。可提供测斜仪成套设备。我厂作为航天部规定的石英挠性加速度计生产厂家，该产品可准确测量物体的加速度、水平倾角、地平线倾角等参数。
廊坊市航新仪器仪表有限公司石英挠性加速度计结构轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。磁钢采用导磁性能比较良好的AL-Ni-Co8永磁材料，加速度计那家好，用无心磨床加工。挠性片的材料为温度性能极好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性片，但造价很高。廊坊市航新仪器仪表有限公司石英挠性加速度计体积小，抗冲击，可安装于芯杆为1英寸的测斜仪上。用于石油钻井的随钻的测斜系统和连续测斜系统中，并可广泛用型飞行物中。产品采用独特的小型化设计和封装工艺。产品输出电流和所受到的力成线性输出，用户可以通过计算选取合适的采样电阻，达到准精度的输出。并可根据用户需求内置温度传感器，用于对偏值和标度因数的补偿，减少温度的影响。
传统线加速度计包括液浮摆式加速度计、石英挠性加速度计等加速度计在其他领域有着广泛的用途，如飞行器的控制和导航系统、各种基准台和平台的调平系统、地质探矿钻孔测斜系统、路桥监测系统、机器人状态控制系统、过载限制系统、钻井控制系统和运动员辅助训练系统等，其市场需求很大。但是从当前发展情况看，存在以下几个明显的动向。廊坊市航新仪器仪表有限公司经过两年艰苦研制，目前在用户方完成系统联试，各项性能指标满足系统使用要求，并顺利与用户签订技术协议，为后续产品正式配套奠定坚实基础。加速度计产品研制成功，不仅为公司系统级产品在微小型石英加计选型上提供了新的选择，也提升了公司在微型石英加计市场开发方面的竞争力。
